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Single Crystal Grower (단결정 성장로) 및 Mo CVD CHAMBER 내에 들어가는 고융점 금속 PART 를 국산화하여 설비 Modify 진행 및 life time 을 증가시키는 기술력을 보유하고 있음.

MO CVD [metal-organic chemical vapor deposition]

MO CVD 란?

고온의 기판 위에 원료 가스를 유출시켜, 그 표면상에서 분해반응을 일으켜 박막을 형성하는 화학증착(CVD)의 하나로, 원료가스 중에 트리메틸갈륨 등의 유기 금속 착물을 포함하는 경우를 말한다.
MOCVD는 metalorganic chemical vapor deposition의 약어이다. 할로겐화물의 기체를 사용하는 CVD보다 저온에서 조작하게 되고, 원자 오더에서의 박막 제어가 가능하다.
GaAs 등의 전자재료 박막을 만드는 기술로 주목을 받고 있다.

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Single Crystal Grower / 단결정 성장로

Sapphire 란?

사파이어는 알루미나 ( Al2 , O3 ) 를 고온에서 녹인 후 서서히 냉각해 단결정 결정체를 성장시키는 역할을 함.

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