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VISTA HCP/GS
| 품명 | SOURCE HEAD |
|---|---|
| 사용공정 | ION IMPLANT |
| 재질 | W, Mo, TZM, Al 외 |
| 용도 | H/C 이온주입공정(설비)의 이온생성 장치. |
VISTA HC/GS
| 품명 | SOURCE HEAD |
|---|---|
| 사용공정 | ION IMPLANT |
| 재질 | W, Mo, TZM, Al 외 |
| 용도 | H/C 이온주입공정(설비)의 이온생성 장치. |
VISTA 810/GS
| 품명 | SOURCE HEAD |
|---|---|
| 사용공정 | ION IMPLANT |
| 재질 | W, Mo, TZM, Al 외 |
| 용도 | M/C 이온주입공정(설비)의 이온생성 장치. |
VISTA 900XPT/GS
| 품명 | SOURCE HEAD |
|---|---|
| 사용공정 | ION IMPLAN |
| 재질 | W, Mo, TZM, Al 외 |
| 용도 | M/C 이온주입공정(설비)의 이온생성 장치. |
E220/GS, E500/GS
| 품명 | SOURCE HEAD |
|---|---|
| 사용공정 | ION IMPLANT |
| 재질 | W, Mo, TZM, Al 외 |
| 용도 | M/C 이온주입공정(설비)의 이온생성 장치. |
EXCEED/GS
| 품명 | SOURCE HEAD |
|---|---|
| 사용공정 | ION IMPLANT |
| 재질 | W, Mo, TZM, Al 외 |
| 용도 | M/C 이온주입공정(설비)의 이온생성 장치. |
NV-GSD/GS
| 품명 | SOURCE HEAD |
|---|---|
| 사용공정 | ION IMPLANT |
| 재질 | W, Mo, TZM, Al 외 |
| 용도 | H/E 이온주입공정(설비)의 이온생성 장치. |
QUANTUM/GS
| 품명 | SOURCE HEAD |
|---|---|
| 사용공정 | ION IMPLANT |
| 재질 | W, Mo, TZM, Al 외 |
| 용도 | H/C 이온주입공정(설비)의 이온생성 장치. |
