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ADAPTOR
| 품명 | ADAPTOR |
|---|---|
| 사용공정 | CVD |
| 재질 | STAINLESS STEEL |
| 용도 | 설비내부 확인을 위한 VIEW PORT용 |
ESC GUIDE RING
| 품명 | ESC GUIDE RING |
|---|---|
| 사용공정 | ETCH |
| 재질 | STAINLESS STEEL |
| 용도 | CHAMBER 내부 고정 장치 |
HANDLER
| 품명 | HANDLER |
|---|---|
| 사용공정 | PHOTO |
| 재질 | 무정전 PC, SUS 외 |
| 용도 | 반도체용 RETICLE 운반 기구 |
