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MANIPULATOR
| 품명 | MANIPULATOR |
|---|---|
| 사용공정 | ION IMPLANT |
| 재질 | STAINLESS STEEL, GRAPHITE, CERAMIC 외 |
| 용도 | ION BEAM 전위차에 의한 추출 장치. (GROUND, SUPPRESSION) |
PLASMA FLOOD GUN
| 품명 | PLASMA FLOOD GUN |
|---|---|
| 사용공정 | ION IMPLANT |
| 재질 | W, Mo, TZM, Al 외 |
| 용도 | ION BEAM 중성화 장치. |
ANALYZER CHAMBER
| 품명 | ANALYZER CHAMBER |
|---|---|
| 사용공정 | ION IMPLANT |
| 재질 | STAINLESS STEEL, GRAPHITE 외 |
| 용도 | ION 주입장치의 질량 분석기 CHAMBER |
MANIPULATOR
| 품명 | ELECTRODE |
|---|---|
| 사용공정 | ION IMPLANT |
| 재질 | W, GRAPHITE, STAINLESS STEEL 외 |
| 용도 | ION BEAM 전위차에 의한 추출 장치. (GROUND, SUPPRESSION) |
