HOME > 제품정보 > Semiconductor
RING
| 품명 | RING |
|---|---|
| 사용공정 | DIFF |
| 재질 | STAINLESS STEEL |
| 용도 | CHAMBER 내부 고정 장치 |
GUIDE RING
| 품명 | GUIDE RING |
|---|---|
| 사용공정 | DIFF |
| 재질 | INCONEL |
| 용도 | CHAMBER 내부 고정 장치 |
FLANGE
| 품명 | FLANGE |
|---|---|
| 사용공정 | DIFF |
| 재질 | STAINLESS STEEL |
| 용도 | CHAMBER에 VACUUM 처리와 GAS 공급 장치 |
CAP BASE
| 품명 | CAP BASE |
|---|---|
| 사용공정 | DIFF |
| 재질 | HASTELLOY |
| 용도 | CHAMBER의 DOOR |
