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SOURCE HEAD ASS’Y
| 공정 | AMOLED DOPING |
|---|---|
| 재질 | TUNGSTEN, GRAPHITE, AL, TA |
| 역할 | PLASMA 상태에서 열전자와 GAS의 반응을 이용하여 BEAM을 생성하는 장치 |
| 설비 | DOPING |
FILAMENT HOLDER ASS’Y
| 공정 | AMOLED DOPING |
|---|---|
| 재질 | TI, CU, AL |
| 역할 | PROFILE 된 BEAM을 생성시켜 주는 역할 |
| 설비 | DOPING |
PFG FILAMENT ASS’Y
| 공정 | AMOLED DOPING |
|---|---|
| 재질 | TUNGSTEN, TI, CU, AL, STS |
| 역할 | 스프레이 모양의 전자류를 코리미터에 의해 평행 빔으로 변환시키는 장치 |
| 설비 | DOPING |
AMOLED DOPPING ELECTRODE ASS’Y
| 공정 | AMOLED DOPING |
|---|---|
| 재질 | MOLY, AL, STS |
| 역할 | PROFILE 된 BEAM을 가속시켜 주는 역할 |
| 설비 | DOPING |
AMOLDE DOPING CHAMBER SHIELD
| 공정 | AMOLED DOPING |
|---|---|
| 재질 | STS(SHIELD) |
| 역할 | PROFILE 된 BEAM 으로 부터 설비를 보호하는 역할 |
| 설비 | DOPING |
