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Display
DOPING
SPUTTER
CVD
PHOTO
OTHERS
CVD 공정 소모성 PART류
재질
TI, AL, CERAMIC, 고융점 소재 외
역할
화학 증착 반응 CHAMBER 내부 또는 외부 열변형 및 고전류에 의한 소모성 부품
설비
CVD CHAMBER
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