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SHIELD ASS’Y, FLOATING MASK,
방착판 류
| 공정 | LCD & AMOLED - SPUTTER |
|---|---|
| 재질 | TI, AL5052 외 |
| 역할 | 진공 CHAMBER 내부 Sputtering으로 기판 영역외 진행하는 가속타겟물질 방패 역할 |
| 설비 | SPUTTER |
LCD TRAY ASS’Y
| 공정 | LCD SPUTTER |
|---|---|
| 재질 | TI, VESPEL, AL5052 |
| 역할 | CHAMBER내에서 GLASS를 이송시켜 주는 역할 |
| 설비 | SPUTTER |
LCD CARRIER ASS’Y
| 공정 | LCD CF - SPUTTER 공정 |
|---|---|
| 재질 | TI, PEEK, AL5052 |
| 역할 | CHAMBER내에서 GLASS를 이송시켜 주는 역할 (특허 출원) |
| 설비 | SPUTTER |
MAGNET EXCHANGER
| 공정 | SPUTTER |
|---|---|
| 재질 | STS304, SM45C, AL6061, BRASS, PEEK, ACETAL 외 |
| 역할 | PIVOT 설비 로터리 타겟 잡아주는 역할 |
| 설비 | SPUTTER |
LCD & AMOLED CLAMP ASS’Y
| 공정 | LCD SPUTTER |
|---|---|
| 재질 | STS, VESPEL |
| 역할 | GLASS 이송용 TRAY에 장착 GLASS 를 안정적으로 잡아주는 역할 (특허 출원) |
| 설비 | SPUTTER |
